低溫等離子處理設(shè)備一般可分為真空低溫等離子處理設(shè)備和常壓低溫等離子處理設(shè)備兩大類。
一、真空低溫等離子體處理設(shè)備
真空低溫等離子體處理設(shè)備是一種在低氣壓工作環(huán)境下,根據(jù)所需處理工件的處理目的不同,可通入各種與工件表面發(fā)生反應(yīng)的化學(xué)元素氣氛,并饋入不同頻率、不同功率的電壓使這些氣氛被激發(fā)電離,這些被電離的、帶有很高能量的電子和粒子對(duì)工件表面進(jìn)行反應(yīng),達(dá)到對(duì)工件表面清洗、活化、刻蝕和沉積的作用,這些帶正負(fù)粒子的離子化氣體由于其正負(fù)電荷總量平衡,所以總體上呈電中性,由這種等離子體與工件表面反應(yīng)后所產(chǎn)生的、漂浮在腔體內(nèi)的新的粒子將被為維持腔體內(nèi)真空度而不斷運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵抽出真空腔體,也即:低溫等離子體處理過(guò)程中產(chǎn)生的微觀污染物會(huì)被真空泵不斷抽出腔體。
真空
低溫等離子處理設(shè)備的特點(diǎn):
1、高能量的低溫等離子體處理。
2、電中性、無(wú)靜電的處理空間。
3、根據(jù)不同的氣氛組合,可實(shí)現(xiàn)多樣化的工藝效果。
4、對(duì)工件結(jié)構(gòu)無(wú)特殊要求,能做到全方位3D處理。
5、清洗功能可真正實(shí)現(xiàn)無(wú)殘留,徹底超凈化。
二、常壓低溫等離子體處理設(shè)備
常壓低溫等離子體處理設(shè)備是一種在常壓大氣工作環(huán)境下,產(chǎn)生各種等離子焰體的設(shè)備。阿爾銘晟用國(guó)外最先進(jìn)的技術(shù),根據(jù)各個(gè)行業(yè)的不同用途、不同處理材料和工件外形,開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)制造了諸如:射流低溫等離子體處理設(shè)備、DBD介質(zhì)阻擋放電等離子處理設(shè)備、滑動(dòng)電弧低溫等離子體處理設(shè)備等等,以適應(yīng)各種不同的工藝需求,詳見(jiàn)阿爾銘晟網(wǎng)站中的“產(chǎn)品展示”欄所示。
常壓低溫等離子處理設(shè)備的特點(diǎn):
1、去除了復(fù)雜的真空系統(tǒng),價(jià)格較低,使用靈活,作業(yè)便捷。
2、適用于在線式生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng),便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化作業(yè),容易與客戶原有的自動(dòng)化流水線配套。
3、具表面清洗、活化、粗化功能,不適合需要做沉積、接枝的表面處理。
4、維護(hù)簡(jiǎn)單,方便。